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壓力傳感器是應(yīng)用廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器在機(jī)械結(jié)構(gòu)裝置，利用壓電效應(yīng)，彈性變形轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的壓力大小。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的發(fā)展，壓力傳感器改善了很多，不僅具有體積小，重量輕，耗電量低，而且精度，穩(wěn)定性，可靠性高，它還大大擴(kuò)展了它的應(yīng)用市場(chǎng)。高溫壓力傳感器主要是解決高溫環(huán)境的各種氣體，液體壓力的測(cè)量，廣泛應(yīng)用于鍋爐，管道，高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力，井底壓力和各種發(fā)動(dòng)機(jī)的空腔內(nèi)的壓力，溫度和油位檢測(cè)，油壓等領(lǐng)域的壓力測(cè)量。在這些領(lǐng)域，該傳感器在高溫工作條件，使傳感器放大電路工作失敗，這也是設(shè)計(jì)的難點(diǎn)高溫壓力傳感器。好的解決辦法是傳感裝置和放大電路相分離，所述感應(yīng)裝置的微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)，信號(hào)激勵(lì)和信號(hào)處理由計(jì)算機(jī)來(lái)完成。信號(hào)采集的數(shù)字壓力傳感器
現(xiàn)在，許多研究高溫壓力傳感器主要求救，硅，二氧化硅，poly2si和其他半導(dǎo)體傳感器，和濺射合金薄膜高溫壓力傳感器，高溫光纖壓力傳感器、高溫電容式壓力傳感器。與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器，半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高，溫度穩(wěn)定性好，低功耗等優(yōu)點(diǎn)，它是敏感的壓力，對(duì)應(yīng)力不敏感，因此，電容式壓力傳感器被廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域。介紹了電容式壓力傳感器高溫生產(chǎn)過(guò)程。
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硅電容壓力傳感器敏感元件是一個(gè)半導(dǎo)體薄膜，它主要由單晶硅和多晶硅生產(chǎn)。典型的電容式傳感器是由上、下電極，絕緣體和襯底。當(dāng)膜在壓力作用下，其變形，使上、下電極之間的距離變化，使電容發(fā)生變化。但在電容變化之間的上下電極之間的距離和非線性關(guān)系。因此，使用補(bǔ)償電路補(bǔ)償。由于高溫條件下的補(bǔ)償電路的影響很大，所以應(yīng)避免補(bǔ)償電路在高溫條件下，好的解決辦法是把傳感裝置和放大電路分離，通過(guò)模型識(shí)別得到測(cè)量環(huán)境壓力。
隨著電子電路器件的發(fā)展，未來(lái)的壓力傳感器溫度電阻會(huì)變得更好，這需要廣泛的科學(xué)家和技術(shù)人員一起工作。
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